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poly-SiC相关论文
6H-SiC单晶锭边缘的多晶环控制
6H-SiC晶体生长过程中单晶锭边缘形成的多晶环影响单晶体的品质。本研究制定了以改进坩埚系统结构为主、调整线圈与坩埚相对位置为......
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